5-ása malaðir keramik einangrarar fyrir hálfleiðarabúnað og hreinrými

Í háspennuheimi framleiðslu hálfleiðara og hreinrýmaumhverfis verður hver íhlutur að skila gallalausri afköstum.PFT, við sérhæfum okkur í handverki5-ása malaðir keramik einangrararsem endurskilgreina nákvæmni og áreiðanleika. Með yfir 20+Með ára reynslu eru lausnir okkar hannaðar til að uppfylla kröfur hálfleiðarabúnaðar, tryggja hitastöðugleika, rafmagnseinangrun og mengunarlausan rekstur í afar viðkvæmum aðstæðum.

Af hverju að velja 5-ása malaða keramik einangrunarefni okkar?

1.Ítarlegri framleiðslugetu

Aðstaða okkar er búin meðNýjustu 5-ása CNC fræsvélar, sem gerir kleift að móta háþróaða keramik eins og áloxíð (Al₂O₃), kísilkarbíð (SiC) og álnítríð (AlN) með nákvæmni upp á míkronstig. Ólíkt hefðbundnum aðferðum gerir 5-ása vinnsla kleift að framkvæma flóknar rúmfræðir - sem eru mikilvægar fyrir íhluti eins og lyftipinna fyrir skífur, hluta í útfellingarklefa og plasmaþolna einangrara.

Helstu eiginleikar:

•Nákvæmni:±0,005 mm vikmörk fyrir óaðfinnanlega samþættingu við ASML litgrafíutól eða Lam Research etskerfi.
•Fjölhæfni efnis:Bjartsýni fyrir 99,8% áloxíð, hágæða SiC og aðrar háþróaðar keramikefni.
•Yfirborðsáferð:Ra <0,2 μm til að lágmarka agnamyndun í hreinrýmum af ISO flokki 1.

2.Sérsmíðuð ferlisverkfræði

Verkfræðingar okkar hafa þróaðlokuð ferlisstýringsem aðlagast brothættni keramiksins við vinnslu. Með því að sameina þurrfræsingartækni og titringsdeyfingu í rauntíma náum við sprungulausum yfirborðum og lengri líftíma íhluta - jafnvel við mikla hitabreytingu (allt að 1.600°C).

Nýsköpunarsvið:

•Aðferðir til að draga úr streitu:Lágmarka örsprungur í AlN einangrurum fyrir CVD forrit.
•Meðferðir eftir vinnslu:HIP (Heit ísóstatísk pressun) eykur þéttleika og tæringarþol.

3.Strangt gæðaeftirlit

Sérhver einangrunarefni gengst undir12 þrepa skoðun, þar á meðal:

•CMM (hnitamælitæki)staðfesting á mikilvægum víddum.
•Lekaprófun á helíumfyrir samhæfni við lofttæmi.
•EDS (orkudreifandi röntgenlitrófsgreining)til að staðfesta hreinleika efnisins.

OkkarISO 9001/14001-vottað kerfitryggir rekjanleika frá innkaupum hráefnis (frá fyrsta flokks birgjum eins og CoorsTek) til lokaumbúða.

Notkun: Þar sem nákvæmni mætir afköstum

Einangrunarefni okkar eru traust í:

•Etsunar- og útfellingartól:SiC-húðaðir íhlutir fyrir plasmaþol í Applied Materials™ einingum.
•Jónígræðslur:Lyftipinnar úr áloxíði með antistatífum húðun til að koma í veg fyrir að skífan renni til.
•Mælikerfi:Einangrarar með lága varmaþenslu fyrir EUV litografíustig.

Dæmisaga:Leiðandi framleiðandi hálfleiðara minnkaði niðurtíma verkfæra um 40% eftir að hafa skipt yfir í sérsniðna SiC sturtuhausa, sem skiluðu betri árangri en samkeppnisaðilar í 300 mm skífuvinnslu.

Meira en framleiðsla: Samstarfsaðferð

•Hraðfrumgerð:Sendu inn CAD skjölin þín og fáðu virka frumgerð innan 7 daga.
•Umbúðir í hreinu herbergi á staðnum:Valfrjáls hreinrýmissamsetning í flokki 10 fyrir beina samþættingu verkfæra.
•Tæknileg aðstoð ævilangt:Verkfræðingar okkar bjóða upp á slitgreiningar og endurvinnsluþjónustu til að lengja líftíma íhluta.